MP（ミラーポリッシュ）工程

・3インチウェーハから8インチウェーハまで対応。

・酸化膜付きや金属膜付きウェーハなどはケミカル処理を行い加工します。

BL（バックラップ加工）工程

・3インチウェーハから6インチウェーハまで対応。

・最大80μmまでの薄厚加工が可能です。