0.12μm以上のパーティクルがウェーハ表面に50個以下のレベル

1×10¹⁰atoms/�p²以下のレベル

（元素：Fe,Ni,Cu,Zu,Cr,Al,Na）

表面内での厚さばらつき　2μm以下のレベル

（上記はお客様のご要望によります。詳細は弊社までお問い合わせください。）

・クリーンルーム

最終検査はクラス100の部屋で行います。

・パーティクルカウンター

クリーンルームの清浄度を監視しています。

・超純水製造設備

洗浄に必要な超純水を製造しています。

・レーザー表面検査装置

最終検査で表面パーティクルを測定します。

・平坦度測定器

ウェーハの平坦度を測定します。